340-360 nm F-Theta-Ronar镜头

340-360 nm F-Theta-Ronar镜头

LINOS® F-Theta-Ronar镜头旨在针对340 - 360 nm之间的UV激光波长实现无像差成像，在全平图像平面上实现极小的光斑直径。所有镜头均由优质熔融石英制成，用于大功率和超短脉冲激光材料加工，具备复杂的宽带和角度优化涂层。LINOS F-Theta-Ronar镜头提供多种焦距和远心设计，适用于广泛的激光材料加工应用。这些镜头采用领先生产技术制造，可确保长期光学稳定性，符合最高质量标准。

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LINOS低释气UV F-Theta镜头330x-330x是同类产品中首款采用不锈钢设计的即用型UV标准产品，旨在最大限度减少潜在污染，延长产品寿命，实现最佳衍射极限性能。该产品具有更高的耐用性，可实现更高的UV脉冲能量和更短的激光脉冲，这对半导体、晶圆加工和电子显示行业的激光材料加工应用至关重要。

UV F-Theta-Ronar镜头采用无色阳极氧化铝制成，提供252 mm和330 mm两种焦距规格。这些镜头采用先进生产技术制造，可确保长期光学稳定性，并以经济高效的方式降低气体释放量。

UV F-Theta透镜与LINOS UV扩束镜配合使用效果极佳。该组合可适应更大的光束直径和不同的镜面距离，同时相应改变扫描区域和光斑尺寸。

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产品 F-Theta-Ronar远心/熔融石英167 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar远心/熔融石英100 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英252 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英255 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英160 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英330mm/340-360 nm，无色阳极氧化处理 F-Theta-Ronar远心/熔融石英70 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英330mm/340-360 nm，不锈钢
材料 / 表面处理 黑色阳极氧化铝 黑色阳极氧化铝 无色阳极氧化铝 黑色阳极氧化铝 黑色阳极氧化铝 无色阳极氧化铝 黑色阳极氧化铝 不锈钢
典型扫描范围 65 46 133 170 98 212 28 212
保护镜代码 PG 15 PG 11 PG 34 PG 11 PG 4 PG 34 PG 4 PG 33
标称焦距（mm） 167.0 100.0 252.0 255.0 160.0 330.0 70.0 330.0
工作距离 255.0 mm 136.7 mm 331.4 mm 318.1 mm 197.4 mm 418.1 mm 92.5 mm 418.1 mm
有效焦距 166.9 104.1 252.1 254.7 161.0 330.6 73.9 330.6
螺纹 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1
远心 是 是 是
典型扫描角度±Θx,y ± 11.3 ± 12.7 ± 15.5 ± 19.3 ± 17.7 ± 18.6 ± 11.3 ± 18.6
法兰焦距 374.1 mm 215.1 mm 435.4 mm 365.7 mm 208.3 mm 491.1 mm 144.3 mm 491.1 mm
典型镜面距离m1/m2 13.0 - 48.0 mm 13.0 - 29.0 mm 17.0 - 38.0 mm 13.0 - 30.0 mm 9.3 - 16.0 mm 17.0 - 25.0 mm 13.0 - 19.0 mm 17.0 - 25.0 mm
1/e2 Ø点光源处光斑直径 13.0 7.0 12.0 17.0 15.0 15.0 5.0 15.0
零件号 4401-511-000-21 4401-509-000-21 4401-619-000-29 4401-481-000-21 4401-399-000-21 4401-617-000-29 4401-576-000-21 4401-617-000-28

  • 熔融石英设计用于高功率与超短脉冲激光材料加工

  • 可提供远心版本
  • 焦距范围从70 mm到330 mm，容差±1%
  • 螺纹规格M85x1
  • 透射率≥ 96 %，并具有VIS范围内的良好​​​​​​​性能
  • 在355 nm、 6 ns、100 Hz下的涂层激光损伤阈值为4 J/cm²，在343 nm、200 fs、 1 kHz下为0.4 J/cm²
  • 包括可互换的熔融石英保护镜
激光材料加工手册
F-Theta-Ronar镜头 - 维护说明
产品 F-Theta-Ronar远心/熔融石英167 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar远心/熔融石英100 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英252 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英255 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英160 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英330mm/340-360 nm，无色阳极氧化处理 F-Theta-Ronar远心/熔融石英70 mm/340-360 nm F-Theta-Ronar熔融石英330mm/340-360 nm，不锈钢
材料 / 表面处理 黑色阳极氧化铝 黑色阳极氧化铝 无色阳极氧化铝 黑色阳极氧化铝 黑色阳极氧化铝 无色阳极氧化铝 黑色阳极氧化铝 不锈钢
典型扫描范围 65 46 133 170 98 212 28 212
保护镜代码 PG 15 PG 11 PG 34 PG 11 PG 4 PG 34 PG 4 PG 33
标称焦距（mm） 167.0 100.0 252.0 255.0 160.0 330.0 70.0 330.0
工作距离 255.0 mm 136.7 mm 331.4 mm 318.1 mm 197.4 mm 418.1 mm 92.5 mm 418.1 mm
有效焦距 166.9 104.1 252.1 254.7 161.0 330.6 73.9 330.6
螺纹 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1 M85x1
远心 是 是 是
典型扫描角度±Θx,y ± 11.3 ± 12.7 ± 15.5 ± 19.3 ± 17.7 ± 18.6 ± 11.3 ± 18.6
法兰焦距 374.1 mm 215.1 mm 435.4 mm 365.7 mm 208.3 mm 491.1 mm 144.3 mm 491.1 mm
典型镜面距离m1/m2 13.0 - 48.0 mm 13.0 - 29.0 mm 17.0 - 38.0 mm 13.0 - 30.0 mm 9.3 - 16.0 mm 17.0 - 25.0 mm 13.0 - 19.0 mm 17.0 - 25.0 mm
1/e2 Ø点光源处光斑直径 13.0 7.0 12.0 17.0 15.0 15.0 5.0 15.0
零件号 4401-511-000-21 4401-509-000-21 4401-619-000-29 4401-481-000-21 4401-399-000-21 4401-617-000-29 4401-576-000-21 4401-617-000-28

  • 熔融石英设计用于高功率与超短脉冲激光材料加工

  • 可提供远心版本
  • 焦距范围从70 mm到330 mm，容差±1%
  • 螺纹规格M85x1
  • 透射率≥ 96 %，并具有VIS范围内的良好​​​​​​​性能
  • 在355 nm、 6 ns、100 Hz下的涂层激光损伤阈值为4 J/cm²，在343 nm、200 fs、 1 kHz下为0.4 J/cm²
  • 包括可互换的熔融石英保护镜
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